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焦继伟

时间:2011-01-04 18:23来源:MEMS资讯网 作者:MEMS 点击:
焦继伟,研究员,博士生导师,传感技术国家重点实验室副主任。

    焦继伟,研究员,博士生导师,传感技术国家重点实验室副主任。1989年毕业于浙江大学物理系,1994年于中科院上海冶金所(现上海微系统所)获博士学位。参与国家"八五"攻关项目等课题,在低温硅固相键合技术上取得突出成果,处于当时国际先进水平;1996年至1997年于荷兰Delft Univ. of Technology从事异种材料间的低温键合及其他MEMS相关技术研究;随后进入日本三菱电机公司先端技术研究所,主要从事MEMS制造、车载微惯性传感器(角速度和加速度)的产品开发工作,以及面向机载 APAA 的 RF MEMS模块的研究;创新提出硅-玻璃键合衬底上高深宽比微结构的无损释放技术,已形成量产技术。自2002年7月起被中科院上海微系统所聘为研究员,目前主要从事微纳传感器、微纳机电系统(MEMS/NEMS)的研究和应用开发,2006年获上海市技术发明二等奖。已发表有关论文数十篇,其中SCI收录 20篇;申请及授权中国发明专利近10项,日本、美国、欧洲及韩国发明专利10项。

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