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国内著名MEMS研究机构

时间:2011-03-04 20:17来源:MEMS资讯网 作者:MEMS 点击:
国内从事MEMS研发的单位包括中电集团电子第十三所、二十四所、四十九所、北京大学、东南大学、上海交大等重点院所。

    国内从事MEMS研发的单位包括中电集团电子第十三所、二十四所、四十九所、北京大学、东南大学、上海交大等重点院所;重点围绕医疗与健康、环境监测和重要行业等需要,提升我国MEMS整体水平,在“十一五”期间推动国内微纳产业的形成。

表1 国内著名MEMS研究机构

 东南大学MEMS重点实验室  研究重点在不太耗资金,但是前景不错的MEMS CAD
 北京大学微电子研究院MEMS研究所  国内最早提供MEMS代工,有RF MEMSMEMS陀螺微流控芯片生物MEMSNEMS等多个研究方向
 中科院上海微系统研究所  基本实现了微型惯性器件MEMS工艺小批量制造能力,实现了4英寸硅片上的高g传感器批量制造,开展了两维和三维高g传感器的研发和具有电自测功能的传感器
 中电集团十三所  国家863计划MEMS专项基地,加速度传感器、陀螺仪、碰撞传感器、倾角传感器、振动传感器、流量传感器、光开关、光衰减器、光反射镜、RF开关、微波移相器、微波带通滤波器
 中电集团二十四所  模拟IC生产经验+MEMS工艺开发经验,擅长MEMS与电路的集成
 中电集团四十九所  已经掌握了如产品的批生产质量控制技术和批生产成本控制等MEMS产业化技术,拥有自主知识产权
 中电集团五十五所  擅长RF MEMS和声表面波器件
 上海交通大学微纳科学技术研究院  非硅MEMS加工
 中北大学微米纳米研究中心  MEMS器件及系统,包括微惯性器件的设计与仿真、微气体检测传感器设计、加工及制造

 

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