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MEMS工艺仿真工具--FabViewer免费体验

时间:2014-01-23 16:57来源:英特神斯 作者:MEMS 点击:
FabViewer是IntelliSuite软件包中强大的MEMS工艺仿真工具之一。

      FabViewerIntelliSuite软件包中强大的MEMS工艺仿真工具之一。它可以动画的形式显示工艺步骤,通过旋转、平移、缩放、剖面等功能查看三维器件内部的细微结构。可以对工艺参数、材料参数以及工艺流程做精确的记录,并可生成MEMS器件标准的工艺文档,以视频、ppt以及excel等格式输出。FabViewer支持绝大多数MEMS工艺仿真,包括:各向同性/异性淀积,各向同性/异性刻蚀,键合,光刻以及CMOS工艺中的氧化/注入等。在体验版中,我们为客户提供了MUMPsMulti-User MEMS Processes)工艺的四个实例:PolyMUMPsMetalMUMPsSOIMUMPsPiezoMUMPs。客户可以嵌入自己的版图,真实体验四种工艺得到的工艺模拟结果。

 

   申请方式:填写FabViewer体验申请表,并发送至邮箱china@intellisense.com,我们的客服人员会将软件的免费体验版发送至您邮箱(请注明操作系统为32位还是64位)。有任何问题,请咨询:025-66621988

 

Dowload:FabViewer体验申请表(请点此链接进行下载http://www.intellisense.com.cn/sjfw_18.html

 

 

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(责任编辑:MEMS)
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