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开创性的5 kV ESD MEMS开关技术

时间:2017-08-22 08:39来源:电子工程网 作者:网络 点击:
MEMS开关技术 ADIMEMS开关技术的关键是静电驱动的微机械加工黄金悬臂梁开关元件概念。可以将MEMS开关视作微米尺度的机械继电器,其金属对金属触点通过高压直流静电驱动。图1显示了单个MEMS开关悬臂的特写图。其中可看到并联的的五个触点和具有下面有空隙的铰

 

MEMS开关技术

  ADI MEMS开关技术的关键是静电驱动的微机械加工黄金悬臂梁开关元件概念。可以将MEMS开关视作微米尺度的机械继电器,其金属对金属触点通过高压直流静电驱动。图1显示了单个MEMS开关悬臂的特写图。其中可看到并联的的五个触点和具有下面有空隙的铰链结构。这一开关设计用于ADGM1304 单刀四掷(SP4T) MEMS开关和具有增强型保护性能的ADGM1004 SP4T开关。

  图1.特写图显示了一个MEMS悬臂开关梁。

  ADI设计了一个配套驱动器集成电路(IC),以产生驱动开关所需的高直流电压,保证快速可靠的驱动和长使用寿命,并使器件易于使用。图2显示了采用超小型SMD QFN封装的MEMS芯片和驱动器IC。被封装在一起的驱动器功耗非常低——典型值为10 mW,比RF继电器的典型驱动器要求低10倍。

  图2.ADGM1004增强型保护MEMS开关

  集成ESD保护

  借助ADGM1304 MEMS开关产品,ADI开发了ADGM1004 MEMS开关,通过集成固态ESD保护技术来增强RF端口ESD性能。ADGM1004开关的RF端口人体模型(HBM) ESD额定值已增加到5 kV。这个级别的ESD保护可谓MEMS开关行业首创。

  集成式固态ESD保护是专有的ADI技术,可实现非常高的ESD保护同时对MEMS开关RF性能影响最小。图3显示了采用SMD QFN封装的ESD保护元件。其中,芯片安放在MEMS芯片上,通过焊线连接至封装的RF引脚。这些都是针对RF和ESD性能进行了优化。

  图3.ADGM1004驱动器IC(左)和MEMS开关芯片(右),带RF端口ESD保护芯片安放在MEMS管芯之上并线焊至金属引线框架。

  为了实现ADGM1004产品,ADI将三种专有光刻技术与组装和MEMS封盖技术相结合,以实现这一性能突破。

  RF和0 Hz/DC性能

  MEMS开关的优势是它在一个非常小的表贴封装中实现了0 Hz/dc精密性和宽带RF性能。图4显示了ADGM1004单刀四掷(SP4T) MEMS开关的实测插入损耗和关断隔离性能。插入损耗在2.5 GHz时仅为0.45 dB,在带宽高达13 GHz时为-3 dB。RF功率处理额定值为32 dBm(无压缩),三阶交调截点(IP3)线性度在频率范围内恒定为67 dBm(典型值),频率极低时无性能降低。

  图4.ADGM1004 MEMS开关RF性能线性标度<10 MHz。

  ADGM1004 MEMS开关设计为0 Hz/dc精密应用提供极高的性能。表1列出了这些重要规格。

  表1ADGM1004精度规格I

  表1列出了HBM ESD额定值,RF端口的额定值为5 kV HBM,相比ADGM1304器件的100V HBM 有大幅提升。这提高了人工处理ESD敏感型应用的易用性。

  表2ADGM1004精度规格II

  无论什么市场,小尺寸解决方案都是一项关键要求。图5利用实物照片比较了ADGM1004 SP4T MEMS开关的封装设计与典型DPDT机电继电器的尺寸,ADGM100体积缩小了高达95%。

  图5.ADGM1004 MEMS开关(四开关)与典型机电式RF继电器(四开关)的比较

  最后,为了帮助系统设计人员,我们对ADGM1004开关的热切换寿命(进行RF功率传输时对通道进行切换)进行了特性化测试。图6显示了进行2 GHz、10 dBm RF信号热切换时的寿命概率。样本测试的故障前平均循环次数(T50)为34亿次。更高的功率测试结果,请参见ADGM1004数据手册。

  结语

  具有开创性的增强型ESD保护性能的ADGM1004 MEMS开关可以大幅提高易用性,同时在RF应用和0 Hz/dc应用中都能保持卓越的开关性能。ADI的MEMS开关技术具有从0 Hz/dc开始的世界顶级的带宽性能,相比RF继电器,MEMS开关的体积缩小多达95%,可靠性提升10倍,速度提升30倍,功耗降低10倍。ADGM1004 MEMS开关为ADI公司性能优异的开关产品阵营又添异彩。

  作者简介

  Eric Carty于1998年获得爱尔兰国立梅努斯大学实验物理硕士学位。加入ADI公司之前,他担任了10年的RF无源器件设计工程师。2009年,他成为ADI公司的高级应用工程师,主要从事RF开关和MEMS技术的研发工作。他目前负责管理ADI公司的开关与多路复用器应用部门。联系方式:eric.carty@analog.com。

  Padraig McDaid 1998年毕业于爱尔兰利默里克大学,获得电子工程学士学位。Padraig负责管理ADI公司的开关与多路复用器市场营销部门,重点关注MEMS技术研发。2009年加入ADI公司之前,Padraig曾在多家跨国公司和中小型企业从事过RF设计、应用和营销工作。联系方式:padraig.mcdaid@analog.com


(责任编辑:MEMS)
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