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多物理场耦合分析

时间:2015-08-26 16:10来源:未知 作者:MEMS 点击:
多物理场耦合分析模块--TEM MEMS器件设计仿真流程图 静力分析热驱动开关 分析设置 边界固定 电压荷载 热边界散热 分析结果位移 分析结果温度 模态分析电容式加速度计 分析设置 电学网格 边界固定 浮动电压设定 一阶振型 二阶振型 三阶振型 电压-自振频率曲线

 多物理场耦合分析模块--TEM


MEMS器件设计仿真流程图


静力分析——热驱动开关


 


分析设置


边界固定

 


电压荷载


热边界—散热


分析结果—位移                    分析结果—温度


模态分析——电容式加速度计

 


分析设置


电学网格

 


边界固定


浮动电压设定


 

一阶振型

 


二阶振型


三阶振型


电压-自振频率曲线


 

动力分析——压阻式压力传感器


分析设置


边界固定                            


阻尼


温度结果云图


温度结果曲线


压阻提取计算


荷载                              电压结果云图


电压结果曲线


(责任编辑:MEMS)
转载文章请注明出处:MEMS资讯网

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