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  • [技术文献] 开创性的5 kV ESD MEMS开关技术 日期:2017-08-22 08:39:48 点击:159 好评:0

    MEMS开关技术 ADIMEMS开关技术的关键是静电驱动的微机械加工黄金悬臂梁开关元件概念。可以将MEMS开关视作微米尺度的机械继电器,其金属对金属触点通过高压直流静电驱动。图1显示了单个MEMS开关悬臂的特写图。其中可看到并联的的五个触点和具有下面有空隙的铰...

  • [技术文献] Minnoy 压阻式压力传感器芯片 日期:2015-11-23 13:05:26 点击:498 好评:2

    江苏英特神斯科技有限公司近日推出了Minnoy PPSN 系列压阻式压力传感器芯片,此系列芯片的主要特点有:采用玻璃-硅-玻璃三层结构及背面感压的设计让传感器正面压阻不接触测量介质,具有优秀的介质兼容性,同时有较高的稳定性和使用寿命。...

  • [技术文献] 多物理场耦合分析 日期:2015-08-26 16:10:17 点击:226 好评:4

    多物理场耦合分析模块--TEM MEMS器件设计仿真流程图 静力分析热驱动开关 分析设置 边界固定 电压荷载 热边界散热 分析结果位移 分析结果温度 模态分析电容式加速度计 分析设置 电学网格 边界固定 浮动电压设定 一阶振型 二阶振型 三阶振型 电压-自振频率曲线...

  • [技术文献] 浅析MEMS传感器晶圆级测试 日期:2015-05-13 09:32:32 点击:549 好评:0

    一、晶圆级测试 1.1晶圆级测试现状及问题 一款MEMS传感器一般包括微结构、接口电路及算法。由于接口电路和算法本质上就是IC,对于IC的晶圆级测试本文不做展开,主要讲述微结构晶圆级测试,无论在产品研制还是量产阶段微结构晶圆级测试都具有举足轻重作用。...

  • [技术文献] 石英加工工艺介绍 日期:2015-05-05 14:56:29 点击:338 好评:2

    石英具有较好的压电效应、绝缘性、温度稳定性、机械性能和高的品质因数 , 是 MEMS 器件中一种常用的结构材料。石英的一般加工方法有机械加工、激光加工、干法刻蚀和湿法腐蚀等。机械加工、激光加工的加工质量和精度有限 , 不适合微结构的加工 ; 干法刻蚀虽然...

  • [技术文献] 石英晶体介绍 日期:2015-05-05 14:15:23 点击:220 好评:0

    石英晶体的基本知识 水晶的成份SiO2,在常压下不同温度时,石英晶体的结构不同,温度T<573℃时石英晶体,当573℃<T<870℃时石英晶体,熔点是1750℃,我们通常说的压电石英晶体指石英晶体。 1、 具有压电特性: 压电效应: 某些介质由于外界机械作用(如压...

  • [技术文献] IntelliSuite: 国际领先的MEMS设计软件 日期:2015-04-29 09:53:39 点击:771 好评:0

    IntelliSuite是由美国IntelliSense公司创造的全球第一个MEMS专业设计与模拟仿真软件。软件模块包括版图建模、材料特性、工艺、各向同性和各向异性腐蚀模拟仿真、多物理场量(电、机械、热、磁等)耦合分析(包括线性、非线性分析,静态、动态分析等)以及系...

  • [技术文献] 三轴陀螺仪原理简介 日期:2015-04-29 09:51:12 点击:859 好评:-6

    在一定的初始条件和一定的外在力矩作用下,陀螺会在不停自转的同时,还绕着另一个固定的转轴不停地旋转,这就是陀螺的旋进(precession),又称为回转效应(gyroscopic effect)。 陀螺仪的种类很多,按用途来分,它可以分为传感陀螺仪和指示陀螺仪。传感陀螺仪...

  • [技术文献] MEMS传感器在先进移动应用中的作用 日期:2015-03-17 08:56:31 点击:437 好评:0

    MEMS传感器包 括加速度计(ACC)、陀螺仪 (GYRO)、磁力计(MAG)、压力 传感器 (PS)和话筒(MIC)。因为低成本,小尺寸,低功耗,高性能,MEMS 传感器 近几年来被集成到便携设备内。 快速的CPU、多任务处理的操作系统、高灵敏度GPS接收器、3G/4G 无线通信 芯片组、...

  • [技术文献] LPKF 无掩膜激光直接成像技术制作高精度光刻图形 日期:2015-02-12 14:16:51 点击:338 好评:10

    随着激光技术的发展,将激光技术直接应用于微米级元件的制作,价格低廉且速度更快。ProtoLaser LDI是一款无需掩模的激光直接成像设备,一束激光即可直接完成感光胶的曝光。操作简单,内置承载装置,将样品放入即可直接制作。 功能强大的桌面型设备:LPKF Prot...

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