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IntelliSense DEEP-RIE工艺标定软件

时间:2013-12-05 17:11来源:英特神斯 作者:MEMS 点击:
众所周知,Deep RIE/ICP工艺中刻蚀深度与版图宽度有关,而这一特点会影响器件性能,如果在设计中能准确预知刻蚀深度与版图宽度的关系,并在器件结构设计中加以应用,就可以设计及制造出性能满足要求的器件。

 IntelliSense DEEP-RIE工艺标定软件

 

众所周知,Deep RIE/ICP工艺中刻蚀深度与版图宽度有关,而这一特点会影响器件性能,如果在设计中能准确预知刻蚀深度与版图宽度的关系,并在器件结构设计中加以应用,就可以设计及制造出性能满足要求的器件。由于Deep RIE/ICP工艺的复杂性及各种设备的差异性,这一特性因不同设备和工艺条件而产生差异,影响了工艺可靠性和稳定性,用IntelliSense提供的Deep- RIE工艺标定软件可以帮助客户对自己使用的Deep-RIE设备进行标定,提取该设备的各种刻蚀参数(与刻蚀所用版图的几何形状有关)。经过标定,软件就可以帮助您做精确ICP刻蚀工艺分析,得出与您实际制造结果一致的多种深宽比结构的工艺分析结果,从而帮助您设计出性能合格的各种器件。

 

                 
 
                                                                                 
       
  如有需要请联系我们:  025-66621988   China@intellisense.com
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