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IntelliSense MEMS工艺平台

时间:2013-11-25 10:37来源:英特神斯 作者:MEMS 点击:
 IntelliSense可以为客户提供完整的MEMS设计与加工服务,我们将专业的MEMS设计软件IntelliSuite与实际工艺相结合可以为您提供更专业更优质的服务。

 IntelliSense MEMS工艺平台

一、 MEMS工艺服务

IntelliSense可以为客户提供完整的MEMS设计与加工服务,我们将专业的MEMS设计软件IntelliSuite与实际工艺相结合可以为您提供更专业更优质的服务。


 
 
 

二、工艺案例

(一)用于气体流量传感器的镍敏芯片制成工艺

 

 
           1.版图设计              2.模型设计分析
 

 
      3.芯片制作               4.封装测试

关键工艺:

◆ 应力可控薄膜制作工艺 

◆ 厚度小于1微米网状氮氧化硅薄膜(最小厚度可达750nm)

◆ TCR:大于5000ppm/ 

◆ 镍材料的淀积改性 

◆ 细线条刻蚀 

 

(二)基于多种材料和工艺的微流控芯片制造技术

 

 
           1.版图设计              2.模型设计分析
 

 
            3.工艺制作             4.完成检查测试

 

关键工艺:

◆ 硅基沟道,玻璃基沟道,PDMS沟道制作工艺 

◆ 多种金属电极制作(腐蚀/lift-off工艺)

◆ 多层/多种键合技术 

◆ 多种模具制作工艺(SU-8 材料,硅材料等)

◆ PDMS-玻璃键合技术 

◆ 玻璃打孔、带介质层的阳极键合技术

 

如有需要请联系我们: 025-66621988   china@intellisense.com

您可前往此链接进行文档下载: http://www.intellisense.com.cn/downlist.asp

 

 

 

 

(责任编辑:MEMS)
转载文章请注明出处:MEMS资讯网

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